央廣網(wǎng)蚌埠5月23日消息（記者徐秋韻）當(dāng)清晨的第一縷陽光穿透窗簾，手機(jī)屏保的晨曦畫面已隨環(huán)境光線自動調(diào)節(jié)亮度；通勤途中，車載系統(tǒng)感知到突發(fā)路況的0.01秒內(nèi)，安全氣囊已進(jìn)入待命狀態(tài)；工業(yè)機(jī)器人抓取器件時，關(guān)節(jié)處的“電子神經(jīng)元”正編織著精密的動作軌跡……

這些場景，都離不開傳感器，智能傳感器如同現(xiàn)代工業(yè)產(chǎn)品的“五官”，能聽到、看到、聞到、感受到，也讓世界更加“聰明”。

近年來，智能傳感器作為人工智能產(chǎn)業(yè)發(fā)展的重要基石，在物聯(lián)網(wǎng)、虛擬現(xiàn)實(shí)（VR）、機(jī)器人、智能家居、自動駕駛汽車等產(chǎn)業(yè)發(fā)展中的關(guān)鍵支撐作用愈加凸顯，而MEMS傳感器需求尤為旺盛。

什么是MEMS？

它是一種微型電子機(jī)械系統(tǒng)（Micro-ElectroMechanicalSystem），通過微納加工技術(shù)將機(jī)械結(jié)構(gòu)和電子元件集成在微米尺度的芯片上。

需求的激增也讓MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)成為眾多城市布局的賽道、發(fā)力的方向。在淮河之濱的安徽蚌埠，一片指甲蓋大小的MEMS芯片，正撬動千億級智能傳感器產(chǎn)業(yè)的未來。2021年，在安徽省級支持下，蚌埠啟動建設(shè)中國傳感谷，推動智能傳感器產(chǎn)業(yè)集聚發(fā)展。2024年，中國傳感谷被評為全國MEMS傳感器十大園區(qū)。

中國傳感谷（央廣網(wǎng)發(fā) 劉晨攝）

在位于蚌埠的安徽北方微電子研究院的展廳里，一張張刻有精密結(jié)構(gòu)的晶圓片，記錄著這座城市的“獨(dú)門絕技”。

“MEMS傳感器的芯片制造就是在硅片上做‘木匠活兒’。”國內(nèi)中高端MEMS技術(shù)與產(chǎn)品頭部企業(yè)安徽北方微電子研究院集團(tuán)有限公司傳感器事業(yè)部副總經(jīng)理焦貴忠給記者打了個比方，他介紹，傳統(tǒng)半導(dǎo)體工藝是平面雕刻，MEMS傳感器芯片工藝卻是立體“微雕”，一層層堆疊，精度要求高且結(jié)構(gòu)復(fù)雜。

近日，依托安徽北方微電子研究院先進(jìn)技術(shù)和產(chǎn)業(yè)鏈所成立的安徽華鑫微納集成電路有限公司投資建設(shè)的8英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線迎來一個個關(guān)鍵節(jié)點(diǎn)。華鑫微納副總經(jīng)理丁敬秀介紹，目前串線產(chǎn)品共13款，6款產(chǎn)品已經(jīng)完成全流程工程批流片開始調(diào)試生產(chǎn)，計劃6月底前交付客戶做功能和可靠性驗(yàn)證。

華鑫微納8英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線上，光刻工程師對晶圓表面進(jìn)行檢測（央廣網(wǎng)記者 徐秋韻攝）

生產(chǎn)線投產(chǎn)后，智能傳感器的核心部件——MEMS芯片將在蚌埠產(chǎn)出，向安徽乃至全國的智能傳感器企業(yè)供貨，為整個產(chǎn)業(yè)鏈安全提供有力支撐。

記者在采訪中了解到，不少企業(yè)看重蚌埠的晶圓制造能力，蚌埠目前已經(jīng)擁有6英寸高性能體硅MEMS晶圓制造平臺，而華鑫微納的8英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線項(xiàng)目建成后，有望成為全國首條8英寸MEMS晶圓全自動生產(chǎn)線以及國內(nèi)MEMS晶圓產(chǎn)出最大（3萬片/月）的生產(chǎn)線。目前，企業(yè)累計與50家客戶達(dá)成合作意向，簽訂流片需求合計21萬片，累計簽訂合同1.2億元。

這種出色的晶圓制造能力也成為中國傳感谷招商的“吸鐵石”。蚌埠經(jīng)開區(qū)黨工委委員、管委會副主任湯偉注意到，“8英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線”吸引了不少智能傳感器企業(yè)了解園區(qū)、落戶園區(qū)。就在前不久，江蘇甫瑞微納傳感科技有限公司生產(chǎn)基地項(xiàng)目落戶中國傳感谷，基地主要從事車規(guī)級氣體和高壓MSG力傳感器的研發(fā)和生產(chǎn)�！八麄儾粌H需要MEMS中試平臺，更需要一個能夠?yàn)樗麄兲峁┝慨a(chǎn)代工的平臺，華鑫微納建設(shè)的‘定制化、柔性化MEMS代工平臺基地’剛好滿足企業(yè)量產(chǎn)的需求。”湯偉介紹。

智能傳感器如同現(xiàn)代工業(yè)產(chǎn)品的“五官”（央廣網(wǎng)記者 徐秋韻攝）

一個個傳感器企業(yè)正在蚌埠聚鏈成勢，安徽希磁科技股份有限公司在新能源汽車電流傳感器領(lǐng)域的市場占有率超過30%，居行業(yè)第一，針對智能機(jī)器人應(yīng)用場景，公司研發(fā)的智能機(jī)器人運(yùn)動量編碼器得到了行業(yè)認(rèn)可，填補(bǔ)國內(nèi)磁編碼器空白；安徽芯動聯(lián)科微系統(tǒng)股份有限公司于2023年成功上市，憑借國產(chǎn)高性能慣性傳感器“隱形冠軍”身份，成為行業(yè)標(biāo)桿企業(yè)……目前，中國傳感谷內(nèi)，“一谷三園”布局已串聯(lián)起200余家企業(yè)。

四年來，中國傳感谷一直以最優(yōu)的生態(tài)提升創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)、產(chǎn)業(yè)發(fā)展的活力。

在省級層面，去年，安徽出臺《關(guān)于支持中國傳感谷發(fā)展若干政策》，內(nèi)容涉及加大投入、創(chuàng)新發(fā)展、人才引育等五個方面，多舉措支持中國傳感谷發(fā)展。

一流研發(fā)能力是打開創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)新局的“引擎”，如何為園區(qū)企業(yè)提供全方位的科研技術(shù)支撐？蚌埠市科技局黨委委員、副局長聞建忠表示，蚌埠堅(jiān)持“一個科研院所帶動一個產(chǎn)業(yè)發(fā)展、一個駐蚌高校共建一個產(chǎn)業(yè)園區(qū)、每個企業(yè)都擁有一個核心技術(shù)支撐”的發(fā)展思路，強(qiáng)化與大院大所、駐蚌高校院所人才共同引育、區(qū)域協(xié)同創(chuàng)新、成果就地轉(zhuǎn)化等體制機(jī)制。

蚌埠市政府與西安交通大學(xué)、北方微電子研究院有限公司共建精密微納制造技術(shù)全國重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室長三角（蚌埠）產(chǎn)教融合協(xié)同中心；安徽省微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新研究院獲批成立；蘭州大學(xué)與安徽希磁科技股份有限公司聯(lián)合建設(shè)“磁傳感聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室”……蚌埠圍繞智能傳感關(guān)鍵技術(shù)核心已成功申報創(chuàng)建創(chuàng)新平臺39個，其中國家級創(chuàng)新平臺6個，這些創(chuàng)新平臺推動優(yōu)質(zhì)科研資源導(dǎo)入蚌埠，賦能傳感器企業(yè)發(fā)展。

精密微納制造技術(shù)全國重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室長三角（蚌埠）產(chǎn)教融合協(xié)同中心成立（央廣網(wǎng)發(fā) 蚌埠市委宣傳部供圖）

在資金支持方面，蚌埠組建了總規(guī)模超70億元的智能傳感產(chǎn)業(yè)投資基金。蚌埠經(jīng)開區(qū)積極打造“基金+產(chǎn)業(yè)載體”的方式，目前已組建基金4支，總規(guī)模26億元。同時，積極對接金融機(jī)構(gòu)，借助“投貸聯(lián)動”等金融產(chǎn)品優(yōu)勢，解決企業(yè)資金需求。

在人才支持方面，安徽省人力資源和社會保障廳近日正式批準(zhǔn)中國（蚌埠）傳感谷園區(qū)設(shè)立為省級留學(xué)人員創(chuàng)業(yè)園，標(biāo)志著該園區(qū)在推動智能傳感產(chǎn)業(yè)集聚、吸引海外高層次人才創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)方面邁入全新階段。

蚌埠還探索推進(jìn)場景招商，圍繞新技術(shù)新領(lǐng)域梳理、公布場景清單，如智慧城市、人形機(jī)器人等應(yīng)用場景，告訴企業(yè)“我們有什么，我們要什么”，吸引智能傳感器上中下游產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)落地，共筑傳感器產(chǎn)業(yè)生態(tài)。

5月24日上午，第七屆智能傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展大會將在蚌埠舉行。這里的故事，是關(guān)于一�！靶尽比绾吻藙右蛔�城的產(chǎn)業(yè)覺醒，500余名專家、企業(yè)家將齊聚珠城，共同探討智能傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展未來，聚力推動中國傳感谷建設(shè)再上新臺階。

感知無界，未來已來。蚌埠也正以“見微知著”的智慧，在智能傳感的星辰大海中逐夢前行。